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半导体烤箱的设计具有耐久性和高性能,采用高容量水平空气再循环系统,尽大限度地提高温度均匀性及其性能。应用于IC(晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别)、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干,电工产品、材料、零备等高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验。
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